IGF



Master of Science Dissartation

Modeling of silicon wet etching with application to microlens fabrication

Author:

Promoter:

Promoting institution:

Year:

Maciej Barański

dr Rafał Kasztelanic

Wydział Fizyki

2009

Tematem pracy jest numeryczna analiza procesu mokrego trawienia krzemu przez mieszaninę kwasu azotowego i fluorowodorowego. W pracy rozważany jest reżym niskiego stężenia HF, gdy tempo i charakter trawienia zdeterminowane jest przez proces transportu reagentów do trawionej powierzchni. Zanalizowany został wpływ prędkości zachodzenia reakcji oraz warunków trawienia na kształt uzyskiwanych struktur. Wprowadzenie zaburzenia pola dyfuzyjnego pozwoliło na modelowanie procesów trawienia w roztworze mieszanym, co jest często stosowaną metodą przyśpieszania procesu trawienia. Wyniki symulacji zostały porównane z danymi eksperymentalnymi -- trawieniami moldów mikrosoczewek.


Back