IGF



Master of Science Dissartation

Advanced MEMS Systems

Author:

Promoter:

Promoting institution:

Year:

Lesław Nowakowski

dr Rafał Kasztelanic

Wydział Fizyki

2009

W niniejszej pracy przedstawiono zaawansowany układ MEMS składający się z dwóch combdrive połączonych z ramką. Przeprowadzono szereg symulacji badanej próbki w programie COMSOL Multiphysics. Na podstawie dwuwymiarowej analizy numerycznej stwierdzono występowanie 10% różnicy w zakresach pracy badanego elementu w obu wymiarach. Wykazano, że siła w układach combdrive jest proporcjonalna do kwadratu przyłożonego napięcia. Eksperyment przeprowadzony z urządzeniem MEMS wykazał słuszność założeń teoretycznych i wyników symulacji. Badany układ MEMS posłużył także do rozważań nad zastosowaniem i budową bardziej złożonych struktur takich jak: mechanizm obracający o dowolny kąt lub przesuwający w dowolnym zakresie, a także samo poruszający się klocek.


Back